Radiation Resistance of MEMS Sensors and Methods of Its Estimation

 
Vlasov A.I., Mileshin S., Tsivinskaya T.A., Shakhnov V.A. (Bauman Moscow State Technical University)
 
Abstract - The article is devoted to the analysis of radiation stability features of MEMS sensors based on single-crystal silicon as a structural material of MEMS sensitive elements. The main attention is paid to the method of estimating the parameters of radiation resistance. The analysis of the influence of radiation on MEMS sensors is given. A comparative analysis of the radiation resistance of a serial accelerometer and a custom-made MEMS sensor is given. The construction of an accelerometer capable of withstanding cosmic radiation for long-range expeditions is given.

Keywords - monocrystalline silicon, radiation resistance, radiation, silicon membrane, MEMS sensors

Радиационная стойкость МЭМС-сенсоров и методика ее оценки

 
Власов А.И., Милёшин С., Цивинская Т.А., Шахнов В.А. (МГТУ им. Н.Э.Баумана, г. Москва)
 
Аннотация - Статья посвящена анализу радиационной стойкости МЭМС-сенсоров на основе монокристаллического кремния в качестве конструкционного материала чувствительных элементов МЭМС. Основное внимание уделено методике оценки параметров радиационной стойкости. Приведен анализ факторов влияния радиации на МЭМС-сенсоры. Дан сравнительный анализ радиационной стойкости серийного акселерометра и заказного МЭМС сенсора. Предложена конструкция акселерометра, способного выдерживать космическое излучение большой интенсивности.

Ключевые слова - монокристаллический кремний, радиационная стойкость, радиация, кремниевая мембрана, МЭМС - сенсоры.