Design and Testing of Integrated Circuit for Micromechanical Accelerometer

 
Belyaev Ya.V., Kostygov D.V., Lemko I.V., Mikhteeva A. (Concern CSRI Elektropribor, JSC), Nevirkovets N.N. (Concern CSRI Elektropribor, JSC, Saint Petersburg Electrotechnical University "LETI")
 
Abstract - Design and testing of an integrated circuit for a micromechanical accelerometer is considered. The design stages of the integrated circuit starting from the system model of the accelerometer and ending with the topology of the integrated circuit are shown. The results of testing the integrated circuit are given.

Keywords - integrated circuit, microelectronics, microelectromechanical sensors, microelectromechanical systems

Разработка и тестирование интегральной схемы для микромеханического акселерометра

 
Беляев Я.В., Костыгов Д.В., Лемко И.В., Михтеева А. (АО "Концерн "ЦНИИ "Электроприбор", г. Санкт-Петербург), Невирковец Н.Н. (АО "Концерн "ЦНИИ "Электроприбор", Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет, г. Санкт-Петербург)
 
Аннотация - Рассматриваются этапы разработки и тестирования интегральной схемы для микромеханического акселерометра. Приведен маршрут разработки интегральной схемы начиная с системной модели акселерометра и заканчивая топологией интегральной схемы. Приведены результаты тестирования составных частей интегральной схемы и тестирования интегральной схемы совместно с чувствительным элементом.

Ключевые слова - интегральная схема, микроэлектроника, микромеханические датчики, микроэлектромеханические системы.