Главная         Авторы   Статьи   Год проведения   Тематика   Организации        Конференция МЭС

Григорьев Ю.Н.

Институт вычислительных технологий СО РАН

Листинг всех работ автора. Нажмите на название работы для того, чтобы получить по ней полную информацию.

2012 
 Григорьев Ю.Н., Горобчук А.Г.
Моделирование плазмохимической технологии травления в ВЧ разряде
2014 
 Горобчук А.Г., Григорьев Ю.Н.
Моделирование плазмохимической технологии травления кремния в смеси CF4/H2
 

Copyright © 2009-2018 ИППМ РАН. All Rights Reserved.

Разработка сайта - ИППМ РАН