Главная         Авторы   Статьи   Год проведения   Тематика   Организации        Конференция МЭС

Математическое моделирование электромиграционных отказов межуровневых соединений БИС

Авторы
 Петросянц К.О.
 Ширабайкин Д.Б.
Год публикации
 2006
УДК
 621.38

Аннотация
 Повышение производительности ИМС напрямую связано с уменьшением характерных размеров их структурных элементов. Одна из основных причин выхода из строя ИМС - электромиграционное разрушение проводников. Перераспределение вакансий
под действием электрического тока приводит к
возникновению неоднородных деформаций и росту
механических напряжений. Выход вакансий на
поверхность проводника приводит к отказу проводника. Предлагается общая 3D модель отказа проводящего элемента, упрощенная 2D модель, и численный алгоритм расчета долговечности. Приводятся замкнутые системы дифференциальных уравнений, описывающие электромиграцию и вызываемые ей деформации проводника. Получены результаты расчетов долговечности и механических напряжений для алюминиевых и медных проводников различной геометрии. Применение предлагаемых моделей позволяет при проектировании определить
электромиграционную долговечность ИМС.
Ключевые слова
 электромиграционные отказы
Ссылка на статью
 Петросянц К.О., Ширабайкин Д.Б. Математическое моделирование электромиграционных отказов межуровневых соединений БИС // Проблемы разработки перспективных микроэлектронных систем - 2006. Сборник научных трудов / под общ. ред. А.Л.Стемпковского. М.:ИППМ РАН, 2006. С. 142-147.
Адрес статьи
 http://www.mes-conference.ru/data/year2006/24.pdf

Copyright © 2009-2018 ИППМ РАН. All Rights Reserved.

Разработка сайта - ИППМ РАН