Главная         Авторы   Статьи   Год проведения   Тематика   Организации        Конференция МЭС

Разработка технологии изготовления КНИ пластин

Авторы
 Комаров Ф.Ф.
 Мильчанин О.В.
 Белоус А.И.
 Малышев В.С.
Год публикации
 2006
УДК
 621.38

Аннотация
 В работе продемонстрирована возможность создания качественных КНИ пластин с использованием стандартного технологического оборудования. Были разработаны оригинальные методики подготовки поверхностей пластин для связывания (сочетание плазменных, химических и гидромеханических обработок), позволяющие получать границу соединения высокого качества. С использованием многоступенчатого набора дозы имплантации водорода, а также дополнительных низкотемпературных отжигов, в работе
показана возможность существенного снижения шероховатости поверхности КНИ пластин вплоть до 2 нм.
Ключевые слова
 изготовления КНИ пластин
Ссылка на статью
 Комаров Ф.Ф., Мильчанин О.В., Белоус А.И., Малышев В.С. Разработка технологии изготовления КНИ пластин // Проблемы разработки перспективных микроэлектронных систем - 2006. Сборник научных трудов / под общ. ред. А.Л.Стемпковского. М.:ИППМ РАН, 2006. С. 284-288.
Адрес статьи
 http://www.mes-conference.ru/data/year2006/51.pdf

Copyright © 2009-2018 ИППМ РАН. All Rights Reserved.

Разработка сайта - ИППМ РАН