Главная         Авторы   Статьи   Год проведения   Тематика   Организации        Конференция МЭС

Новый взгляд на применение кристаллов алмаза в микроэлектронике и нанотехнологиях

Авторы
 Карасев В.Ю.
 Мозгин А.А.
Год публикации
 2006
УДК
 621.38

Аннотация
 Представляется новый способ обработки
кристаллов алмаза, позволяющий формировать высококачественные поверхности для проведения ростовых эпитаксиальных процессов. Рассматривается возможность использования различных алмазных поверхностей в микро и нано-электронике.
Ключевые слова
 применение кристаллов алмаза, микроэлектроника, нанотехнологии
Ссылка на статью
 Карасев В.Ю., Мозгин А.А. Новый взгляд на применение кристаллов алмаза в микроэлектронике и нанотехнологиях // Проблемы разработки перспективных микроэлектронных систем - 2006. Сборник научных трудов / под общ. ред. А.Л.Стемпковского. М.:ИППМ РАН, 2006. С. 295-299.
Адрес статьи
 http://www.mes-conference.ru/data/year2006/53.pdf

Copyright © 2009-2018 ИППМ РАН. All Rights Reserved.

Разработка сайта - ИППМ РАН