Главная         Авторы   Статьи   Год проведения   Тематика   Организации        Конференция МЭС

Разработка и проектирование интегральных термоэлементов

Авторы
 Амеличев В.В.
 Поломошнов С.А.
 Чаплыгин Ю.А.
Год публикации
 2006
УДК
 621.38

Аннотация
 В работе представлены основы проектирования интегральных термоэлементов и термомикросистем на их основе. Показан конструктивно-технологический базис для создания термомикросистем с малой потребляемой мощностью (0,5-30 мВт). Особенностью базиса является возможность интеграции термоэлементов с кремниевыми микросхемами на одном кристалле.
Ключевые слова
 интегральные термоэлементы
Ссылка на статью
 Амеличев В.В., Поломошнов С.А., Чаплыгин Ю.А. Разработка и проектирование интегральных термоэлементов // Проблемы разработки перспективных микроэлектронных систем - 2006. Сборник научных трудов / под общ. ред. А.Л.Стемпковского. М.:ИППМ РАН, 2006. С. 416-420.
Адрес статьи
 http://www.mes-conference.ru/data/year2006/76.pdf

Copyright © 2009-2018 ИППМ РАН. All Rights Reserved.

Разработка сайта - ИППМ РАН