Главная         Авторы   Статьи   Год проведения   Тематика   Организации        Конференция МЭС

Моделирование процессов равновесной и быстрой термообработок при формировании активных областей субмикронных и нанометровых ИС

Авторы
 Комаров Ф.Ф.
 Величко О.И.
 Заяц Г.М.
 Комаров А.Ф.
 Миронов А.М.
 Цурко В.А.
Год публикации
 2008
УДК
 621.38

Аннотация
 Разработана двумерная модель миграции имплантированных атомов мышьяка в кремнии,
а также модель перераспределения имплантированных
атомов мышьяка в системе SiO2/Si. Предложенный численный метод позволяет корректно строить алгоритм без традиционно вводимого на границе раздела сред искусственного параметра — коэффициента массопереноса (transport rate). Представленные результаты расчетов хорошо согласуются с экспериментальными данными.
Ключевые слова
 двумерная модель миграции атомов
Ссылка на статью
 Комаров Ф.Ф., Величко О.И., Заяц Г.М., Комаров А.Ф., Миронов А.М., Цурко В.А. Моделирование процессов равновесной и быстрой термообработок при формировании активных областей субмикронных и нанометровых ИС // Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем - 2008. Сборник научных трудов / под общ. ред. А.Л.Стемпковского. М.:ИППМ РАН, 2008. С. 165-168.
Адрес статьи
 http://www.mes-conference.ru/data/year2008/27.pdf

Copyright © 2009-2018 ИППМ РАН. All Rights Reserved.

Разработка сайта - ИППМ РАН