Главная         Авторы   Статьи   Год проведения   Тематика   Организации        Конференция МЭС

Исследование и оптимизация технологических параметров формирования логической ячейки на структуре "кремний на изоляторе"

Авторы
 Долгий Л.Н.
 Ефремов В.А.
 Нелаев В.В.
 Стемпицкий В.Р.
Год публикации
 2008
УДК
 621.382

Аннотация
 Приведены результаты физического моделирования технологии формирования КНИ-структуры и логической КМОП-ячейки на ее базе. С использованием метода поверхности отклика проведена оптимизация параметров технологического процесса изготовления КМОП-ячейки.
Ключевые слова
 КНИ-структура, физическое моделирование, технологический процесс, оптимизация, метод поверхности откликов
Ссылка на статью
 Долгий Л.Н., Ефремов В.А., Нелаев В.В., Стемпицкий В.Р. Исследование и оптимизация технологических параметров формирования логической ячейки на структуре "кремний на изоляторе" // Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем - 2008. Сборник научных трудов / под общ. ред. А.Л.Стемпковского. М.:ИППМ РАН, 2008. С. 169-172.
Адрес статьи
 http://www.mes-conference.ru/data/year2008/28.pdf

Copyright © 2009-2018 ИППМ РАН. All Rights Reserved.

Разработка сайта - ИППМ РАН