Главная         Авторы   Статьи   Год проведения   Тематика   Организации        Конференция МЭС

Применение методики неразрушающего контроля дозовой стойкости партий КМОП КНС БИС

Авторы
 Давыдов Г.Г.
 Согоян А.В.
 Петров А.Г.
 Артамонов А.С.
 Яшанин И.Б.
 Скобелев А.В.
 Седаков А.Ю.
Год публикации
 2008
УДК
 621.38

Аннотация
 Рассмотрены способы применения методики неразрушающего контроля стойкости КМОП
КНС БИС к дозовым воздействиям. Показана эффективность разбраковки корпусированных БИС, а также кристаллов БИС на пластинах до их корпусирования. Внедрение в технологический маршрут изготовления микросхем операции радиационной отбраковки позволило оптимизировать параметры технологического процесса с целью повышения дозовой стойкости БИС.
Ключевые слова
 методики неразрушающего контроля, дозовая стойкость, КМОП КНС БИС
Ссылка на статью
 Давыдов Г.Г., Согоян А.В., Петров А.Г., Артамонов А.С., Яшанин И.Б., Скобелев А.В., Седаков А.Ю. Применение методики неразрушающего контроля дозовой стойкости партий КМОП КНС БИС // Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем - 2008. Сборник научных трудов / под общ. ред. А.Л.Стемпковского. М.:ИППМ РАН, 2008. С. 280-285.
Адрес статьи
 http://www.mes-conference.ru/data/year2008/51.pdf

Copyright © 2009-2018 ИППМ РАН. All Rights Reserved.

Разработка сайта - ИППМ РАН