Главная         Авторы   Статьи   Год проведения   Тематика   Организации        Конференция МЭС

Компьютерное моделирование компонентов МЭМС

Авторы
 Коловский Ю.В.
 Левицкий А.А.
 Маринушкин П.С.
Год публикации
 2008
УДК
 621.38

Аннотация
 Рассмотрены существующие подходы к компьютерному моделированию компонентов микро-электромеханических систем (МЭМС) и соответствующие виды программных средств анализа. Приведены примеры численных моделей микроустройств с помощью пакетов ANSYS и Comsol Multiphysics. Применение предлагаемых моделей позволяет проводить мультифизичный (междисциплинарный) анализ компонентов МЭМС с учетом факторов, оказывающих существенно влияние на работу микроустройств.
Ключевые слова
 Компьютерное моделирование, МЭМС
Ссылка на статью
 Коловский Ю.В., Левицкий А.А., Маринушкин П.С. Компьютерное моделирование компонентов МЭМС // Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем - 2008. Сборник научных трудов / под общ. ред. А.Л.Стемпковского. М.:ИППМ РАН, 2008. С. 398-401.
Адрес статьи
 http://www.mes-conference.ru/data/year2008/74.pdf

Copyright © 2009-2018 ИППМ РАН. All Rights Reserved.

Разработка сайта - ИППМ РАН