Главная         Авторы   Статьи   Год проведения   Тематика   Организации        Конференция МЭС

КМОП-фотоприемный элемент с высокой эффективностью сбора фотогенерированных носителей заряда  

Авторы
 Пугачев А.А.
 Стемпковский А.Л.
Год публикации
 2010
УДК
 621.383.001.66

Аннотация
 Предлагается структура КМОП-фотоприемного элемента, обеспечивающая высокую эффективность сбора фотогенерированных носителей заряда. Специальные эпитаксиальные слои позволяют создать внутренние электрические поля, направляющие электроны к области фотодиода элемента. С помощью приборно-технологического моделирования произведена оценка конструктивно-технологических параметров элемента.
Ключевые слова
 КМОП фотоприемник, структура элемента, двумерное моделирование, фактор заполнения
Ссылка на статью
 Пугачев А.А., Стемпковский А.Л. КМОП-фотоприемный элемент с высокой эффективностью сбора фотогенерированных носителей заряда // Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем - 2010. Сборник трудов / под общ. ред. академика А.Л.Стемпковского. М.:ИППМ РАН, 2010. С. 648-653.
Адрес статьи
 http://www.mes-conference.ru/data/year2010/papers/m10-144-65161.pdf

Copyright © 2009-2018 ИППМ РАН. All Rights Reserved.

Разработка сайта - ИППМ РАН