Главная         Авторы   Статьи   Год проведения   Тематика   Организации        Конференция МЭС

Расчет и моделирование основных параметров дифференциального емкостного МЭМС-акселерометра  

Авторы
 Сайкин Д.А.
 Годовицын И.В.
 Федоров Р.А.
 Амеличев В.В.
Год публикации
 2010
УДК
 621.3.049.779

Аннотация
 С помощью аналитических соотношений и конечно-элементного моделирования рассчитаны основные параметры тестовой структуры дифференциального емкостного МЭМС-акселерометра. Разработана технология изготовления МЭМС-акселерометра с использованием КНИ-пластин и изготовлены экспериментальные образцы. Проведены измерения основных параметров МЭМС-акселерометра, продемонстрировавшие хорошее совпадение с расчетными величинами.
Ключевые слова
 МЭМС, КНИ, акселерометр
Ссылка на статью
 Сайкин Д.А., Годовицын И.В., Федоров Р.А., Амеличев В.В. Расчет и моделирование основных параметров дифференциального емкостного МЭМС-акселерометра // Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем - 2010. Сборник трудов / под общ. ред. академика А.Л.Стемпковского. М.:ИППМ РАН, 2010. С. 642-647.
Адрес статьи
 http://www.mes-conference.ru/data/year2010/papers/m10-157-90361.pdf

Copyright © 2009-2018 ИППМ РАН. All Rights Reserved.

Разработка сайта - ИППМ РАН