Главная         Авторы   Статьи   Год проведения   Тематика   Организации        Конференция МЭС

Математическое моделирование распределения температуры в тепловых микросенсорах  

Авторы
 Козлов А.Г.
Год публикации
 2010
УДК
 681.586.6

Аннотация
 Представлен метод аналитического моделирования распределения температуры в тепловых микросенсорах с термически изолированными структурами. Двумерная структура разделяется на ряд прямоугольных зон, для каждой из которых определяются условия теплообмена с окружающей средой и соседними зонами. Распределение температуры в каждой зоне находится методом Фурье. Плотности тепловых потоков между соседними зонами представлены как суммы соответствующих ортогональных функций с неизвестными весовыми коэффициентами, значения которых определяются из граничных условий сопряжения между всеми соседними зонами. Система уравнений для неизвестных весовых коэффициентов является системой линейных уравнений. В качестве примера представлено определение распределения температуры в конкретной структуре микроболометрической ячейки, изготовленной травлением жертвенного слоя.
Ключевые слова
 тепловые микросенсоры, распределение температуры, метод Фурье, микроболометр
Ссылка на статью
 Козлов А.Г. Математическое моделирование распределения температуры в тепловых микросенсорах // Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем - 2010. Сборник трудов / под общ. ред. академика А.Л.Стемпковского. М.:ИППМ РАН, 2010. С. 76-79.
Адрес статьи
 http://www.mes-conference.ru/data/year2010/papers/m10-243-4982.pdf

Copyright © 2009-2018 ИППМ РАН. All Rights Reserved.

Разработка сайта - ИППМ РАН