Главная         Авторы   Статьи   Год проведения   Тематика   Организации        Конференция МЭС

Алгоритм физического синтеза в блоки элементов с диффузией постоянной ширины  

Авторы
 Рыженко Н.В.
Год публикации
 2010
УДК
 519.688

Аннотация
 Неуклонное уменьшение размера транзисторов при сохранении длины волны литографии требует внедрения всё более и более сложных технологий производства интегральных схем, таких как экспозиция одного слоя посредством нескольких масок. Использование подобных технологий увеличивает время расчёта масок, объём необходимого вспомогательного компьютерного оборудования и стоимость всего производства интегральных схем в целом. В нашей работе мы предлагаем альтернативный взгляд на проблему – как с помощью заданной высокой регулярности топологии уменьшить сложность обсчёта масок или же отдалить необходимость использования дорогостоящих технологий в процессе литографии.

В нашей модели диффузия представляет собой области прямоугольной формы произвольного размера, длиной до нескольких десятков транзисторов. Сток-исток соседних транзисторов в такой полосе или объединены, или же изолированы друг от друга затвором всегда закрытого разделяющего транзистора.

Предложенный алгоритм физического синтеза образует кластеры из элементов с диффузией одинаковой ширины, формируя неразрывные полосы регулярной диффузии. Модифицированный алгоритм выбора нагрузочной способности элементов уменьшает деградацию основных параметров схемы (ток утечки и производительность) до нескольких процентов по сравнению с обычным физическим синтезом. Формирование кластеров приводит к некоторому ухудшению трассируемости схемы. В работе представлены подходы для уменьшения этого негативного эффекта.
Ключевые слова
 регулярный шаблон, физический синтез
Ссылка на статью
 Рыженко Н.В. Алгоритм физического синтеза в блоки элементов с диффузией постоянной ширины // Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем - 2010. Сборник трудов / под общ. ред. академика А.Л.Стемпковского. М.:ИППМ РАН, 2010. С. 178-183.
Адрес статьи
 http://www.mes-conference.ru/data/year2010/papers/m10-278-15301.pdf

Copyright © 2009-2018 ИППМ РАН. All Rights Reserved.

Разработка сайта - ИППМ РАН