Главная         Авторы   Статьи   Год проведения   Тематика   Организации        Конференция МЭС

Предварительная обработка экспериментальных данных в статистическом проектировании изделий микроэлектроники  

Авторы
 Малышев В.С.
 Павлов П.Г.
 Стемпицкий В.Р.
Год публикации
 2010
УДК
 519.248

Аннотация
 Представлены результаты исследований по выбору и практической реализации математических методов предварительного анализа и статистической обработки экспериментальных данных, полученных при промышленных измерениях результатов формирования элементов ИМС
Ключевые слова
 Интегральная микросхема, субмикронная технология, статистический анализ, статистическое распределение, тренд, методы сглаживания.
Ссылка на статью
 Малышев В.С., Павлов П.Г., Стемпицкий В.Р. Предварительная обработка экспериментальных данных в статистическом проектировании изделий микроэлектроники // Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем - 2010. Сборник трудов / под общ. ред. академика А.Л.Стемпковского. М.:ИППМ РАН, 2010. С. 60-65.
Адрес статьи
 http://www.mes-conference.ru/data/year2010/papers/m10-183-20792.pdf

Copyright © 2009-2018 ИППМ РАН. All Rights Reserved.

Разработка сайта - ИППМ РАН