Главная         Авторы   Статьи   Год проведения   Тематика   Организации        Конференция МЭС

Применение Dual-beam технологии для создания прототипа матрицы энергонезависимой памяти на фазовых переходах  

Авторы
 Ануфриев Ю.В.
 Зенова Е.В.
 Кондратьев П.К.
 Балашов Д.С.
 Сальников С.М.
Год публикации
 2010
УДК
 621.382

Аннотация
 В статье рассматривается один из возможных способов создания прототипа матрицы ячеек энергонезависимой памяти с использованием Dual-beam технологии. Предложенная технология в будущем позволит изготавливать матрицы энергонезависимой памяти на фазовых переходах, внедренных в структуру СБИС.
Ключевые слова
 Энергонезависимая память, PRAM, Dual-beam, FEI, наноразмерная.
Ссылка на статью
 Ануфриев Ю.В., Зенова Е.В., Кондратьев П.К., Балашов Д.С., Сальников С.М. Применение Dual-beam технологии для создания прототипа матрицы энергонезависимой памяти на фазовых переходах // Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем - 2010. Сборник трудов / под общ. ред. академика А.Л.Стемпковского. М.:ИППМ РАН, 2010. С. 658-661.
Адрес статьи
 http://www.mes-conference.ru/data/year2010/papers/m10-356-17292.pdf

Copyright © 2009-2018 ИППМ РАН. All Rights Reserved.

Разработка сайта - ИППМ РАН