Главная         Авторы   Статьи   Год проведения   Тематика   Организации        Конференция МЭС

Исследование БИС СОЗУ 8К на основе КНИ структур

Авторы
 Алиева Н.В.
 Белоус А.И.
 Малышев В.С.
 Сорока С.А.
 Усов Г.И.
 Шведов С.В.
 Бондаренко В.П.
 Долгий Л.Н.
 Лабунов В.А.
 Мудрый А.В.
Год публикации
 2006
УДК
 621.38

Аннотация
 Представлены результаты исследований КМОП БИС СОЗУ 8К, изготовленных в КНИ структурах SIMOX и Smart Cut. Приведены данные по выходу годных, фотолюминесцентному анализу структурного совершенства пленок кремния в КНИ структурах и результаты исследований устойчивости БИС к радиационным воздействиям.
Ключевые слова
 БИС, КНИ структуры
Ссылка на статью
 Алиева Н.В., Белоус А.И., Малышев В.С., Сорока С.А., Усов Г.И., Шведов С.В., Бондаренко В.П., Долгий Л.Н., Лабунов В.А., Мудрый А.В. Исследование БИС СОЗУ 8К на основе КНИ структур // Проблемы разработки перспективных микроэлектронных систем - 2006. Сборник научных трудов / под общ. ред. А.Л.Стемпковского. М.:ИППМ РАН, 2006. С. 289-294.
Адрес статьи
 http://www.mes-conference.ru/data/year2006/52.pdf

Copyright © 2009-2018 ИППМ РАН. All Rights Reserved.

Разработка сайта - ИППМ РАН