Главная         Авторы   Статьи   Год проведения   Тематика   Организации        Конференция МЭС

Моделирование плазмохимической технологии травления в ВЧ разряде  

Авторы
 Григорьев Ю.Н.
 Горобчук А.Г.
Год публикации
 2012
УДК
 621.382:519.688

Аннотация
 В рамках гидродинамического приближения моделируется технология плазмохимического травления кремния в ВЧ-разряде CF4/O2. Расчеты выполнены с использованием математической модели неизотермического реактора, в которой движение газовой смеси описывалось уравнениями многокомпонентной гидродинамики с учетом конвективно-диффузионного переноса отдельных компонент смеси. Для определения характеристик низкотемпературной плазмы использовалась гидродинамическая модель аксиально-симметричного ВЧ-разряда в трехмоментном приближении, включающая решение уравнений непрерывности для электронов и положительных ионов, уравнение баланса энергии электронов и уравнение Пуассона для электрического потенциала. Исследовано влияние структуры ВЧ-разряда и многокомпонентной плазменной кинетики на производство и массообмен активных частиц в плазмохимическом реакторе травления.
Ключевые слова
 плазмохимическое травление, плазмохимические реакторы, многокомпонентные смеси газов, математическое моделирование
Ссылка на статью
 Григорьев Ю.Н., Горобчук А.Г. Моделирование плазмохимической технологии травления в ВЧ разряде // Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем - 2012. Сборник трудов / под общ. ред. академика РАН А.Л. Стемпковского. М.: ИППМ РАН, 2012. С. 217-220.
Адрес статьи
 http://www.mes-conference.ru/data/year2012/pdf/D57.pdf

Copyright © 2009-2018 ИППМ РАН. All Rights Reserved.

Разработка сайта - ИППМ РАН