Главная         Авторы   Статьи   Год проведения   Тематика   Организации        Конференция МЭС

Оценка конструктивно-технологических возможностей повышения радиационной стойкости глубоко-субмикронных СБИС  

Авторы
 Селецкий А.В.
 Шелепин Н.А.
Год публикации
 2012
УДК
 621.382.32

Аннотация
 В статье представлена методика создания радиационно-стойких глубоко-субмикронных СБИС на основе незначительной модификации технологического маршрута их изготовления. Основой предложенной методики является создание узкой области концентрации Р-типа вдоль боковой и донной поверхности изоляции активных областей. Технологические режимы формирования данных областей и электрические характеристики приборов получены при помощи приборно-технологического моделирования.
Ключевые слова
 КМОП-транзистор, космическое излучение, накопленная доза ионизирующего излучения, радиационная стойкость.
Ссылка на статью
 Селецкий А.В., Шелепин Н.А. Оценка конструктивно-технологических возможностей повышения радиационной стойкости глубоко-субмикронных СБИС // Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем - 2012. Сборник трудов / под общ. ред. академика РАН А.Л. Стемпковского. М.: ИППМ РАН, 2012. С. 588-593.
Адрес статьи
 http://www.mes-conference.ru/data/year2012/pdf/D63.pdf

Copyright © 2009-2018 ИППМ РАН. All Rights Reserved.

Разработка сайта - ИППМ РАН