Главная         Авторы   Статьи   Год проведения   Тематика   Организации        Конференция МЭС

Опыт разработки матричных фотоприёмников с зарядовой связью с межстрочным переносом

Авторы
 Костюков Е.В.
 Михайличенко О.В.
 Морозов В.Ф.
 Скрылёв А.С.
 Морозов В.Ф.
 Трунов С.В.
Год публикации
 2005
УДК
 621.38

Аннотация
 Разработанны конструктивно-технологические подходы к проектированию современных матричных ФПЗС, и методики расчета и оптимизации топологии и технологических режимов изготовления их структур, которые обеспечили не только успешную разработку таких приборов, но и создание правил проектирования приборов следующего поколения с проектными нормами порядка 0,8мкм.
Ключевые слова
 матричные фотоприёмники, ПЗС с межстрочным переносом
Ссылка на статью
 Костюков Е.В., Михайличенко О.В., Морозов В.Ф., Скрылёв А.С., Морозов В.Ф., Трунов С.В. Опыт разработки матричных фотоприёмников с зарядовой связью с межстрочным переносом // Проблемы разработки перспективных микроэлектронных систем - 2005. Сборник научных трудов / под общ. ред. А.Л.Стемпковского. М.:ИППМ РАН, 2005. С. 320-327.
Адрес статьи
 http://www.mes-conference.ru/data/year2005/48.doc

Copyright © 2009-2018 ИППМ РАН. All Rights Reserved.

Разработка сайта - ИППМ РАН