Главная         Авторы   Статьи   Год проведения   Тематика   Организации        Конференция МЭС

Моделирование нестационарных режимов работы теплофизических микросенсоров  

Авторы
 Козлов А.Г.
Год публикации
 2012
УДК
 681.586.6

Аннотация
 Рассмотрен метод аналитического моделирования, позволяющий определять частотную характеристику теплофизических микросенсоров с консольными, мостовыми и мембранными термически изолиро-ванными структурами. В микросенсорах выделены области моделирования, которые в зависимости от состава слоев и условий тепловыделения разделены на зоны. Зоны заменены эквивалентными зонами с однородными параметрами. Для каждой зоны получено нестационарное уравнение теплопроводности, которое решено с использованием прямого преобразования Фурье по времени. Плотности тепловых потоков на границах между зонами определены с использованием граничных условий сопряжения. Получены аналитические выражения для нахождения частотных характеристик микросенсоров. Предложенный метод использован для определения модуля и аргумента частотных характеристик и временной зависимости температуры горячих спаев термопар тепловых приемников излучения при импульсном входном воздействии.
Ключевые слова
 теплофизический микросенсор, распределение температуры, преобразование Фурье, частотная характеристика, микроэлектронный тепловой приемник излучения
Ссылка на статью
 Козлов А.Г. Моделирование нестационарных режимов работы
теплофизических микросенсоров // Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем - 2012. Сборник трудов / под общ. ред. академика РАН А.Л. Стемпковского. М.: ИППМ РАН, 2012. С. 662-667.
Адрес статьи
 http://www.mes-conference.ru/data/year2012/pdf/D145.pdf

Copyright © 2009-2018 ИППМ РАН. All Rights Reserved.

Разработка сайта - ИППМ РАН