Главная         Авторы   Статьи   Год проведения   Тематика   Организации        Конференция МЭС

О применении динамически перестраиваемых диаграмм Вороного к контролю технологических правил  

Авторы
 Шеблаев М.В.
 Ерохин Р.
 Яхонтов А.
Год публикации
 2012
УДК
 519.658, 519.677

Аннотация
 В данной статье рассмотрено приложение алгоритма динамической модификации диаграммы Вороного для манхэттеновских многоугольников к задаче проверки технологических правил для субмикронных процессов
Ключевые слова
 трассировка, диаграмма Вороного, WBC, алгоритм Клейна
Ссылка на статью
 Шеблаев М.В., Ерохин Р., Яхонтов А. О применении динамически перестраиваемых диаграмм Вороного к контролю технологических правил // Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем - 2012. Сборник трудов / под общ. ред. академика РАН А.Л. Стемпковского. М.: ИППМ РАН, 2012. С. 247-250.
Адрес статьи
 http://www.mes-conference.ru/data/year2012/pdf/D157.pdf

Copyright © 2009-2018 ИППМ РАН. All Rights Reserved.

Разработка сайта - ИППМ РАН