Главная         Авторы   Статьи   Год проведения   Тематика   Организации        Конференция МЭС

Исследование влияния топологии КМОП-совместимого элемента Холла на его магниточувствительность  

Авторы
 Чаплыгин Ю.А.
 Крупкина Т.Ю.
 Красюков А.Ю.
 Артамонова Е.А.
Год публикации
 2014
УДК
 621.3.049.771

Аннотация
 Проведено исследование возможности повышения магниточувствительности элемента Холла, формируемого на основе КМОП-совместимого технологического маршрута. Относительная токовая чувствительность элемента Холла была увеличена с 236 до 1500 В/(А*Тл) за счет изменения топологии маски для легирования активной области прибора.
Ключевые слова
 датчик Холла, магниточувствительный элемент, КМОП
Ссылка на статью
 Чаплыгин Ю.А., Крупкина Т.Ю., Красюков А.Ю., Артамонова Е.А. Исследование влияния топологии КМОП-совместимого элемента Холла на его магниточувствительность // Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем - 2014. Сборник трудов / под общ. ред. академика РАН А.Л. Стемпковского. М.: ИППМ РАН, 2014. Часть II. С. 179-184.
Адрес статьи
 http://www.mes-conference.ru/data/year2014/pdf/D007.pdf

Copyright © 2009-2018 ИППМ РАН. All Rights Reserved.

Разработка сайта - ИППМ РАН