Главная         Авторы   Статьи   Год проведения   Тематика   Организации        Конференция МЭС

Проектирование технологических процессов изготовления кремний-германиевых гетеробиполярных транзисторов  

Авторы
 Дроздов Д.Г.
 Савченко Е.М.
Год публикации
 2014
УДК
 621.382.32

Аннотация
 В статье представлены результаты приборно-технологического моделирования технологических процессов изготовления кремний-германиевых гетеробиполярных транзисторов. Представлены результаты по исследованию моделей ионной имплантации и диффузии германия, эпитаксиального роста пленок кремний-германий. Проведено моделирование конструктивных вариантов гетеробиполярных транзисторов с областью базы, сформированной с помощью селективной и неселективной эпитаксии.
Ключевые слова
 кремний-германий, гетеробиполярный транзистор, система приборно-технологического проектирования, селективная и неселективная эпитаксия
Ссылка на статью
 Дроздов Д.Г., Савченко Е.М. Проектирование технологических процессов изготовления кремний-германиевых гетеробиполярных транзисторов // Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем - 2014. Сборник трудов / под общ. ред. академика РАН А.Л. Стемпковского. М.: ИППМ РАН, 2014. Часть II. С. 141-144.
Адрес статьи
 http://www.mes-conference.ru/data/year2014/pdf/D102.pdf

Copyright © 2009-2018 ИППМ РАН. All Rights Reserved.

Разработка сайта - ИППМ РАН