Главная         Авторы   Статьи   Год проведения   Тематика   Организации        Конференция МЭС

Многоэлементные ИК МЭМС-сенсоры с термопарными преобразователями теплового излучения  

Авторы
 Хафизов Р.З.
Год публикации
 2014
УДК
 УДК 621.382.001

Аннотация
 Рассмотрены состояние и перспективы разработок многоэлементных ИК МЭМС-сенсоров с термопарными преобразователями теплового излучения. Проанализированы возможности оптимизации параметров чувствительных термопарных МЭМС- элементов с использованием материалов и процессов КМОП-технологии.
Ключевые слова
 эффект Зеебека, тепловое излучение, микроэлектромеханическая система (МЭМС), приемник инфракрасного (ИК) изображения, ИК МЭМС-сенсор.
Ссылка на статью
 Хафизов Р.З. Многоэлементные ИК МЭМС-сенсоры с термопарными преобразователями теплового излучения // Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем - 2014. Сборник трудов / под общ. ред. академика РАН А.Л. Стемпковского. М.: ИППМ РАН, 2014. Часть2. С. 193-196.
Адрес статьи
 http://www.mes-conference.ru/data/year2014/pdf/D135.pdf

Copyright © 2009-2018 ИППМ РАН. All Rights Reserved.

Разработка сайта - ИППМ РАН