Главная         Авторы   Статьи   Год проведения   Тематика   Организации        Конференция МЭС

Моделирование радиационно-индуцированных токов утечки в МОП-структурах при воздействии гамма- и рентгеновского излучений  

Авторы
 Смолин А.А.
 Уланова А.В.
 Согоян А.В.
 Демидов А.А.
Год публикации
 2014
УДК
 621.382.323

Аннотация
 При воздействии рентгеновского и гамма-излучений на КМОП ИС в ряде случаев наблюдается различие дозовых зависимостей критериальных параметров. Данный эффект был изучен с помощью моделирования процесса накопления радиационно-индуцированного заряда в изолирующих окислах МОП-структур при воздействии гамма- и рентгеновского излучений. Установлена связь пространственного распределения центров захвата в осажденных окислах с кинетикой дозовой деградации токов утечки для двух типов из-лучения.
Ключевые слова
 МОП, STI, ток утечки, дозовая деградация, гамма излучение, рентгеновское излучение
Ссылка на статью
 Смолин А.А., Уланова А.В., Согоян А.В., Демидов А.А. Моделирование радиационно-индуцированных токов утечки в МОП-структурах при воздействии гамма- и рентгеновского излучений // Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем - 2014. Сборник трудов / под общ. ред. академика РАН А.Л. Стемпковского. М.: ИППМ РАН, 2014. Часть III. С. 197-200.
Адрес статьи
 http://www.mes-conference.ru/data/year2014/pdf/D154.pdf

Copyright © 2009-2018 ИППМ РАН. All Rights Reserved.

Разработка сайта - ИППМ РАН