Главная         Авторы   Статьи   Год проведения   Тематика   Организации        Конференция МЭС

Исследование ячейки КМОП-совместимого ЭСППЗУ  

Авторы
 Ермаков И.В.
Год публикации
 2014
УДК
 [004.087.2+004.076.4]:621.3.049.77

Аннотация
 Представлены характеристики экспериментальной ячейки ЭСППЗУ с толщиной туннельного окисла 7 нм, изготовленной в стандартном КМОП-процессе с проектными нормами 0,18 мкм. Исследованы зависимости порогового напряжения ячейки памяти от времени и напряжения записи/стирания, от количества циклов перезаписи и количества суток отжига при температурах 100 и 150С. Дополнительно исследована ячейка памяти с толщиной туннельного окисла 3,2 нм. Для исследуемых ячеек памяти определены значения энергии активации и рассчитаны времена хранения информации при разных температурах.
Ключевые слова
 КМОП, ЭСППЗУ, флэш-память, плавающий затвор, ячейка памяти
Ссылка на статью
 Ермаков И.В. Исследование ячейки КМОП-совместимого ЭСППЗУ // Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем - 2014. Сборник трудов / под общ. ред. академика РАН А.Л. Стемпковского. М.: ИППМ РАН, 2014. Часть II. С. 173-178.
Адрес статьи
 http://www.mes-conference.ru/data/year2014/pdf/D173.pdf

Copyright © 2009-2018 ИППМ РАН. All Rights Reserved.

Разработка сайта - ИППМ РАН