Главная         Авторы   Статьи   Год проведения   Тематика   Организации        Конференция МЭС

Наноразмерный эффект в планарной индуктивности с технологией «проводящая пленка в токовом кольце»  

Авторы
 Сапогин В.Г.
 Прокопенко Н.Н.
 Иванов Ю.И.
 Бугакова А.В.
Год публикации
 2016
УДК
 621.3.011

Аннотация
 Рассматриваются свойства токовихревой положительной планарной индуктивности (ППИ), выполненной в виде конструкции «проводящая плёнка в токовом кольце». Предложен метод расчёта частотно-независимых индуктивных свойств проводящей плёнки для НЧ, ВЧ, СВЧ и КВЧ диапазонов частот. Указано на существование наноразмерного эффекта, в котором токи Фуко проявляют свои парамагнитные свойства. Эффект позволяет достигнуть предельных значений поверхностной плотности ППИ. Показано, что индуктивность плёнки зависит только от её геометрических размеров, а частотный диапазон – от ее удельного сопротивления. Средняя частота рабочего диапазона ППИ растёт с ростом удельного сопротивления пленки. Исследованный наноразмерный эффект позволяет увеличить (в 7÷50 раз) значение планарной индуктивности в одном слое на площади квадрата размером 100х100 мкм2.
Ключевые слова
 планарная индуктивность, цилиндрическая проводящая пленка, токовое кольцо, наноразмерный эффект.
Ссылка на статью
 Сапогин В.Г., Прокопенко Н.Н., Иванов Ю.И., Бугакова А.В. Наноразмерный эффект в планарной индуктивности с технологией «проводящая пленка в токовом кольце» // Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем - 2016. Сборник трудов / под общ. ред. академика РАН А.Л. Стемпковского. М.: ИППМ РАН, 2016. Часть III. С. 114-119.
Адрес статьи
 http://www.mes-conference.ru/data/year2016/pdf/D043.pdf

Copyright © 2009-2018 ИППМ РАН. All Rights Reserved.

Разработка сайта - ИППМ РАН