Главная         Авторы   Статьи   Год проведения   Тематика   Организации        Конференция МЭС

Одномерное приборно-технологическое моделирование элементов интегральных схем с использованием электронных таблиц  

Авторы
 Крупкина Т.Ю.
 Красюков А.Ю.
 Артамонова Е.А.
Год публикации
 2016
УДК
 621.382

Аннотация
 Разработаны программы приборного и технологического моделирования элементов интегральных схем в одномерном приближении с использованием электронных таблиц. Показаны возможности программ по приборному моделированию МДП-структур и p-n-переходов, а также по моделированию технологических маршрутов. Определены направления совершенствования возможностей созданных программ.
Ключевые слова
 Приборно-технологическое моделирование, TCAD, одномерное приближение, электронные таблицы
Ссылка на статью
 Крупкина Т.Ю., Красюков А.Ю., Артамонова Е.А. Одномерное приборно-технологическое моделирование элементов интегральных схем с использованием электронных таблиц // Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем (МЭС). 2016. № 4. С. 24-31.
Адрес статьи
 http://www.mes-conference.ru/data/year2016/pdf/D083.pdf

Copyright © 2009-2018 ИППМ РАН. All Rights Reserved.

Разработка сайта - ИППМ РАН