Главная         Авторы   Статьи   Год проведения   Тематика   Организации        Конференция МЭС

Анализ влияния формы мембраны на механическую прочность и стабильность параметров МЭМС-сенсоров давления  

Авторы
 Власов А.И.
 Цивинская Т.А.
 Шахнов В.А.
Год публикации
 2016
УДК
 612.014

Аннотация
 Статья посвящена анализу особенностей использования монокристаллического кремния в качестве конструкционного материала чувствительных элементов МЭМС. Основное внимание уделено анализу моделей рабочих кремниевых мембран чувствительного элемента преобразования давления, полученных разными методами: жидкостным анизотропным травлением и магнетронным методом сухого травления.
Ключевые слова
 монокристаллический кремний, микродефекты, механические деформации, кремниевая мембрана, МЭМС - сенсоры
Ссылка на статью
 Власов А.И., Цивинская Т.А., Шахнов В.А. Анализ влияния формы мембраны на механическую прочность и стабильность параметров МЭМС-сенсоров давления // Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем (МЭС). 2016. № 4. С. 65-70.
Адрес статьи
 http://www.mes-conference.ru/data/year2016/pdf/D084.pdf

Copyright © 2009-2018 ИППМ РАН. All Rights Reserved.

Разработка сайта - ИППМ РАН