Главная         Авторы   Статьи   Год проведения   Тематика   Организации        Конференция МЭС

Метод приборно-технологического моделирования свет-сигнальных характеристик элементов КМОП-фотодиодных СБИС  

Авторы
 Кононов А.
 Пугачёв А.А.
Год публикации
 2016
УДК
 621.383.3

Аннотация
 предложен метод приборно-технологического моделирования ячеек фоточувствительных КМОП-ФД СБИС, позволяющий в двумерном приближении учесть как реальную топологию, так и объемную структуру профиля легирующих примесей ячейки. Метод реализован в системе Sentaurus TCAD (Synopsys) и применен при проектировании КМОП-ФД СБИС.
Ключевые слова
 КМОП-ФД ячейка; приборно-технологическое моделирование; Sentaurus TCAD (Synopsys)
Ссылка на статью
 Кононов А., Пугачёв А.А. Метод приборно-технологического моделирования свет-сигнальных характеристик элементов КМОП-фотодиодных СБИС // Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем (МЭС). 2016. № 4. С. 100-106.
Адрес статьи
 http://www.mes-conference.ru/data/year2016/pdf/D107.pdf

Copyright © 2009-2018 ИППМ РАН. All Rights Reserved.

Разработка сайта - ИППМ РАН