Главная         Авторы   Статьи   Год проведения   Тематика   Организации        Конференция МЭС

Методика анализа электромиграции проводящих шин с помощью ускоренных измерений тестовых структур в составе пластин  

Авторы
 Сивченко А.С.
Год публикации
 2016
УДК
 621.3.049.77

Аннотация
 В статье рассмотрена методика определения электромиграции проводящих шин. Основой предложенной методики являются специально разработанные тестовые структуры, алгоритм измерения тестовых структур для контроля электромиграции, а также автоматизированная программа измерений, позволяющая проводить контроль электромиграции в автоматическом режиме. Представлены результаты измерения электромиграции в проводящих шинах, выполненных по 65 нм технологическому процессу.
Ключевые слова
 электромиграция, надёжность, тестовые структуры, контроль параметров технологического процесса, МОП–транзистор.
Ссылка на статью
 Сивченко А.С. Методика анализа электромиграции проводящих шин с помощью ускоренных измерений тестовых структур в составе пластин // Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем (МЭС). 2016. №4. С. 43-50.
Адрес статьи
 http://www.mes-conference.ru/data/year2016/pdf/D171.pdf

Copyright © 2009-2018 ИППМ РАН. All Rights Reserved.

Разработка сайта - ИППМ РАН