Главная         Авторы   Статьи   Год проведения   Тематика   Организации        Конференция МЭС

Моделирование частотных характеристик оптомеханических тепловых микросенсоров  

Авторы
 Козлов А.Г.
Год публикации
 2016
УДК
 621.382.001

Аннотация
 Представлен аналитический метод для определения частотной характеристики оптомеханических тепловых микросенсоров. Рассмотрено три типа микросенсоров: микросенсор с двумя опорными балками в соседних углах платы; микросенсор с двумя опорными балками в противоположных углах платы; микросенсор с четырьмя опорными балками. Принимая во внимание особенности каждого типа микросенсоров, в их структурах выделены области моделирования. Области моделирования разделены на зоны с однородными параметрами. Для каждой зоны получено нестационарное уравнение теплопроводности, которое решается с использованием преобразования Фурье и метода собственных функций. Плотности тепловых потоков между зонами определены из сопряженных граничных условий в частотной области. Получены аналитические выражение для частотных характеристик каждого типа микросенсоров. Метод использован для определения частотной характеристики, частоты среза и постоянной времени для рассматриваемых трех типов оптомеханических тепловых микросенсоров. Для микросенсора с двумя опорными балочными мостами в соседних углах платы определены зависимости чувствительности и постоянной времени от длины участка биматериала балочного моста и толщины слоя алюминия участка биматериала.
Ключевые слова
 оптомеханический тепловой микросенсор, распределение температуры, частотная характеристика, преобразование Фурье, метод собственных функций, частота среза, постоянная времени.
Ссылка на статью
 Козлов А.Г. Моделирование частотных характеристик оптомеханических тепловых микросенсоров // Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем (МЭС). 2016. № 4. С. 112-119.
Адрес статьи
 http://www.mes-conference.ru/data/year2016/pdf/D163.pdf

Copyright © 2009-2018 ИППМ РАН. All Rights Reserved.

Разработка сайта - ИППМ РАН